大口径元件缺陷多模态检测仪

产品介绍

大口径元件缺陷多模态检测仪(MMDI-2000-LA),结合全口径缺陷快速识别与子孔径高灵敏度、高分辨率显微成像的检测方式,可利用激光散射对大口径光学元件进行全口径快速扫描成像,对缺陷尺度、位置、形态进行统计分析,并结合使用光热弱吸收、明场显微成像、暗场显微成像、激光共聚焦显微成像等不同模态检测用户关注缺陷区域,获得关注区域的缺陷信息。

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产品参数
大口径元件缺陷多模态检测仪
型号 MMDI-2000-LA
样品尺寸 ≤500mm x 500mm
检测模式 激光散射、光热吸收、明场显微成像、暗场显微成像、激光共聚焦显微 成像五种。可根据用户需求定制不同组合模式
缺陷检测灵敏度 ≤0.3μm
光热吸收检测灵敏度 10ppb
光热吸收缺陷检测灵敏度 ≤10μm
光热吸收泵浦光源 355nm、532nm、1064nm或定制波长
显微成像检测横向分辨率 ≤1μm
激光共聚焦缺陷检测灵敏度 ≤0.3μm
激光共聚焦缺陷横向分辨率 ≤0.5μm
激光共聚焦缺陷纵向分辨率 ≤1μm
产品特点

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