大口径元件散射缺陷检测仪

产品介绍

大口径元件散射缺陷检测仪(LSDI-2000-LA、LSDI-3000-C),适用于大口径光学材料、半导体材料和金属等材料抛光后的表面缺陷检测和分析。本设备是一款非接触式、全自动的检测仪器,能够快速检测待测表面的划痕、麻点、脏污等特性。

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产品参数
大口径元件散射缺陷检测仪
型号  LSDI-2000-LA LSDI-3000-C
检测方式 全自动 全自动
检测灵敏度 ≤200nm ≤500nm
样品类型 平面 球面、非球面
样品尺寸 ≤500mm x 500mm x 80mm ( L x W x H )

注:可以根据客户需求提供同类定制仪器和相关测试的解决方案

产品特点

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