亚表面缺陷检测仪

产品介绍

亚表面缺陷检测仪(SSDI—2000 ),集成包括光学显微成像、激光共聚焦成像在内的多种检测模式,用于光学元件表面、亚表面缺陷的检测与分析,可在深度方向对样品进行分层检测。

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产品参数
亚表面缺陷检测仪
型号 SSDI-2000
检测灵敏度 ≤200nm
横向分辨率 ≤300nm
纵向分辨率 ≤1μm
最大样品尺寸 100mm x 100mm,或根据客户需求定制

*注:可根据用户需求,提供同类特制系统。

产品特点

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