图形晶圆缺陷检测设备

产品介绍

图形晶圆缺陷检测设备(AMMI-2000),主要用于图形化品圆BUMP、RDL、PAD等的检测,也可用于无图案晶圆表面缺陷检测。

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产品参数
图形晶圆缺陷检测设备
型号 AMMI-2000
晶圆尺寸 200mm/300mm
晶圆类型 Semi Standards 、MEMS、Glass、Thin、Warped、Taiko、Frame
检测方式 2D测量
检测模式 明/暗场、偏光、微分干涉
分辨率 6μm - 0.5μm
产率 100WPH@300mm, 6μm
镜头 可选配1X, 2X, 5X, 10X, 20X, 50X等放大倍率
检测类型 划伤、外来物污染、RDL缺陷等
通讯 SEMI standard, SECS/GEM
自动化 EFEM ( 2 loadPort & Robot)
产品特点

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