碳化硅缺陷检测仪

产品介绍

碳化硅缺陷检测仪(NOVA-2000),用于SiC抛光衬底片和同质外延片的缺陷检测,针对SiC缺陷的多样性设计专用多通道光学检测系统和缺陷自动检测分类算法,对微管、层错、三角形缺陷、台阶聚集等各类缺陷进行检出和提取分类,对SiC质量控制和工艺提升有显著作用。

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产品参数
碳化硅缺陷检测仪
型号 NOVA-2000
品圆 SiC衬底,外延片
尺寸 4寸,6寸,8寸
检测效率 10WPH(6寸)
上下料方式 全自动,2Loadport,1Robot
环境温度 20℃~25℃
环境湿度 40%~60%
厂房洁净等级 百级及以上无尘车间
产品特点

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